Veröffentlichungen
A 3D dynamic stress model for the growth of hollow silicon polygons
- Authors
H. Behnken, A. Seidl and D. Franke
- 2005
- Journal Article
Journal:
Journal of crystal growth
Volume:
275
Issue:
1-Feb
Pages:
e375-e380
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Conference Location:
ISBN:
Veröffentlichungen
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