Veröffentlichungen
Manufacture of high-aspect-ratio micro-hair sensor arrays
- Authors
G. J. Schmitz, C. Brücker and P. Jacobs
- 2005
- Journal Article
Journal:
Journal of micromechanics and microengineering
Volume:
15
Issue:
10
Pages:
1904-1910
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ISBN:
Veröffentlichungen
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