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Numerische Prozesssimulation am Beispiel der gerichteten Erstarrung von Solarsilicium

D. Franke

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Kristallisation und Technik : Halbleitermaterialien, Prozesstechnologie und Diagnostik ; Vorträge zum 51. Berg- und Hüttenmännischen Tag 2000 / Freiberger Forschungsforum. Technische Universität Bergakademie Freiberg. Hrsg.: H.-J. Möller; E. Buhrig

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Freiberg

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